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產(chǎn)品中心材料樣品檢測探針臺KT-Z160TZ真空探針臺
產(chǎn)品簡介
真空探針臺KT-Z160TZ，高溫真空腔探針系統(tǒng)主要用于為被測芯片提供一個低溫或者高溫的變溫測量環(huán)境，以便測量分析溫度變化時芯片性能參數(shù)的變化。腔體內(nèi)被測芯片在真空環(huán)境中有效避免易受氧化半導(dǎo)體器件接觸空氣所帶來的測試結(jié)果誤差。
product
產(chǎn)品分類| 品牌 | 鄭科探 |
|---|
真空探針臺KT-Z160TZ主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測試。探針臺從操作上來區(qū)分有：手動，半自動，全自動從功能上來區(qū)分有：溫控探針臺，真空探 針臺(低溫探針臺)，RF探針臺，LCD平板探針臺，霍爾效應(yīng)探針臺，表面電阻率探針臺。普遍應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測量的研發(fā)，旨在確保質(zhì)量及可靠性，并縮減研發(fā)時間和器件制造工藝的成本。自動探針測試臺在功能及組成上大同小異，即主要由x-y向工作臺，可編程承片臺、探卡/探卡支架、打點(diǎn)器、探邊器、操作手柄等組成
高低溫真空 探針臺應(yīng)用：
可應(yīng)用于低溫或高溫真空環(huán)境下被測樣品的電學(xué)性能測試分析，如：半導(dǎo)體/微電子，電子，機(jī)電，物理，化學(xué)，材料，光電，納米，微機(jī)電/MEMS，生物芯片，航空航天等科學(xué)研究領(lǐng)域，以及IC設(shè)計/制造/測試/封裝、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生產(chǎn)制造領(lǐng)域。
· 結(jié)構(gòu)緊湊，適用于各種變溫測試
· -196℃~400℃（配液氮致冷模塊）
· 氣密腔室設(shè)計，可通保護(hù)氣氛
· 4探針，手動定位（可擴(kuò)展為6個）
· 支持改動或定制
真空探針臺KT-Z160TZ參數(shù)
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真空腔體 | |
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腔體材質(zhì) |
304不銹鋼 |
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上蓋開啟 |
鉸鏈側(cè)開 |
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加熱臺材質(zhì) |
304不銹鋼 |
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內(nèi)腔體尺寸 |
φ160x90mm |
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觀察窗尺寸 |
Φ70mm |
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加熱臺尺寸 |
φ60mm |
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觀察窗熱臺間距 |
75mm |
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加熱臺溫度 |
﹣196~400℃ |
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加熱臺溫控誤差 |
±1℃ |
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真空度 |
機(jī)械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa |
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允許正壓 |
≤0.1MPa |
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真空抽氣口 |
KF25真空法蘭 |
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氣體進(jìn)氣口 |
3mm-6mm卡套接頭 |
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電信號接頭 |
SMA轉(zhuǎn)BNC X 4 |
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電學(xué)性能 |
絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質(zhì)耐壓 ≤500V |
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探針數(shù)量 |
4探針 |
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探針材質(zhì) |
鎢針 |
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探針尖 |
10μm |
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探針移動平臺 | |
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X軸移動行程 |
30mm ±15mm |
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X軸控制精度 |
≤0.01mm |
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Y軸移動行程 |
13mm ±12.5mm |
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Y軸控制精度 |
≤0.01mm |
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Z軸移動行程 |
13mm ±12.5mm |
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Z軸控制精度 |
≤0.01mm |
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電子顯微鏡 | |
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顯微鏡類別 |
物鏡 |
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物鏡倍數(shù) |
0.7-4.5倍 |
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工作間距 |
90mm |
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相機(jī) |
sony 高清 |
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像素 |
1920※1080像素 |
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圖像接口 |
VGA |
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LED可調(diào)光源 |
有 |
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顯示屏 |
8寸 |
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放大倍數(shù) |
19-135倍,視場范圍15×13-2.25×1.7mm，最小可分辨0.08mm |
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